第5章 ?伟大时刻 【求订阅】(2/3)
董教授、刘教授等人笑呵呵的跟着补刀,想把这个决💗策给坐实了。
就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,🌤🁁“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试?”
按照光🐥刻机本来的调试流程,一定要通过三次模拟实验以后才能开始⚻🖤进行流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明🗺镇。
胡明镇闻言,稍稍犹豫了片🙲🎓🐪刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。🗎🚞但是为了政治任务,只好微微🄶🂆点头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”
“好!”
郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手,“立即执行流片工程测试程序!”
随🙿🐆着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,做流片工序的准备工作。
芯片流🐥片非常讲究,仅仅光刻室里就由许多道制🔭🜮程🟗工艺组成。
比如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、😍清洁激光头、激🌇☢🁉光头校准对焦等🏎😾等等等。
这些工序的精度🀞♥要求都非常🙲🎓🐪高,而且要在无尘状态操作,不得马虎。⚻🖤
不但如此,光刻室的🖫🕣灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格🅋的规定,否则都👡会影响光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。
“老胡,这台设备我们已经测试过很多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光👡一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏,所以才特意走来宽慰几句🕥。
胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点头,“🔭🜮我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”
“是不是就像准备去参加高考🙟一样?”站😤在他身旁的刘教授说起玩笑⚻🖤话,拿胡明镇开心。
玩笑话虽然是玩笑话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家,每当自己的科研项目接受💷🖛📔论🝰🎳证审查时,应该都是这种心态的。
一🙿🐆个半小时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台krf光刻机已经做好准备,下面要开始执行光刻📸制程工序,请指示。”
“开始!”
胡明镇猛然一挥手。
“嘟嘟嘟”随着这一声令下,这台光刻机主体系统上方的报警灯🌔开始闪烁🅟🇱🜓,隔绝玻璃门开始缓缓关闭。
“好啊,终于开始了。”
“这是一个伟大的时刻!”
“我们这些人都在见证历史啊。”
就在这时,负责光刻机整机联动调试的郝宁教授,朝胡明镇招了招手,🌤🁁“胡总,我们刚才已经模拟运行过一次,这台光刻机的各项参数、性能指标等都正常。咱们是不是该进行下一步的芯片流片工程测试?”
按照光🐥刻机本来的调试流程,一定要通过三次模拟实验以后才能开始⚻🖤进行流片测试。但为了赶时间,郝宁教授才会这么询问胡明🗺镇。
胡明镇闻言,稍稍犹豫了片🙲🎓🐪刻。他性格谨慎,从来都不喜欢冒险。🗎🚞但是为了政治任务,只好微微🄶🂆点头,“老郝,我同意执行流片测试程序。”
“好!”
郝宁教授朝负责流片的技术员们一挥手,“立即执行流片工程测试程序!”
随🙿🐆着他这一声令下,光刻室里的技术员们顿时都忙碌起来,做流片工序的准备工作。
芯片流🐥片非常讲究,仅仅光刻室里就由许多道制🔭🜮程🟗工艺组成。
比如说,蚀刻掩膜片、给掩膜片涂抹光刻胶、😍清洁激光头、激🌇☢🁉光头校准对焦等🏎😾等等等。
这些工序的精度🀞♥要求都非常🙲🎓🐪高,而且要在无尘状态操作,不得马虎。⚻🖤
不但如此,光刻室的🖫🕣灯光照明、声波、震动波、电磁波、温度、湿度等技术参数都有严格🅋的规定,否则都👡会影响光刻硅晶圆片的精度,影响流片的成品率。
“老胡,这台设备我们已经测试过很多次,也通过好几次实战,应该没问题。”郝宁教授见胡明镇的目光👡一直都盯着光刻机工作站的电脑显示屏,所以才特意走来宽慰几句🕥。
胡明镇闻言收回目光,朝郝宁教授颔首点头,“🔭🜮我知道这次流片测试应该问题不大。但总是感到有些不踏实。”
“是不是就像准备去参加高考🙟一样?”站😤在他身旁的刘教授说起玩笑⚻🖤话,拿胡明镇开心。
玩笑话虽然是玩笑话,但跟胡明镇此时的心态有点类似。作为搞技术研发的一名专家,每当自己的科研项目接受💷🖛📔论🝰🎳证审查时,应该都是这种心态的。
一🙿🐆个半小时以后,梁宋松对这台光刻机再三巡查了一遍,然后朝胡明镇伸出两个大拇指,“报告胡总,全国产第一台krf光刻机已经做好准备,下面要开始执行光刻📸制程工序,请指示。”
“开始!”
胡明镇猛然一挥手。
“嘟嘟嘟”随着这一声令下,这台光刻机主体系统上方的报警灯🌔开始闪烁🅟🇱🜓,隔绝玻璃门开始缓缓关闭。
“好啊,终于开始了。”
“这是一个伟大的时刻!”
“我们这些人都在见证历史啊。”